旋转工作台RT采用DD伺服执行机构以代替以前的减速机与执行机构的组合，从而实现了没有无效行程或无效运动的高速、高精度的旋转定位。旋转工作台RT由DD电机和高分解能的光学式编码器以及对其进行支撑的轴承构成。轴承采用了在工业用机器人领成绩斐然的IKO交叉滚子轴承，一个轴承可承受所有方向的载荷，实现了紧凑而顺畅的旋转。与精密定位工作台组合而成的工作台，可作为半导体生产设备和图像处理检测设备的高精度定位机构使用。此外，通过与精密定位工作台组合而成的XY-θ工作台，可以作为半导体生产设备和图像处理检测设备的高精度定位机构使用。

• 可高速、高精度定位

  通过采用DD伺服执行机构，同时实现了最高转速达2.5r/sec、重复定位精度达±5秒的高速旋转和高精度。

• 采用高分解能光学式编码器

  编码器分度数达655,360。具有超高分解能。最小旋转角度约2秒，可用于微小旋转定位。

• 结构紧凑，旋转顺畅

  轴承采用交叉滚子轴承，高度尺寸小、结构紧凑，从而减小了因旋转而引起的工作台顶面跳动，使动作更顺畅。